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代工可沉积材料

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代工可沉积材料：

氧化铝，氧化铪，氧化锆，氧化硅，氧化钛，氧化钇，氧化镓，氧化锌，氧化铟，氮化铝，氮化钛，金属Pt等，以及上面的复合物。

可提供成熟工艺方案：

l 高迁移率IGZO-TFT成套工艺方案

l 高质量高K材料工艺方案

l 铁电材料ZrO₂-HfO₂成套工艺方案

l 低阻氮化钛成套工艺

l 深通孔工艺recipe定制方案

l 异形件定制化工艺腔体方案

l 氧化钇防腐涂层

l 有机分子层

l Pt，Ru，Cu，W, Ir金属制程

l 二次电子发射工艺方案

l 低温无损制程

l 微纳光栅

l 薄膜封装钝化

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氧化铝，氧化铪，氧化锆，氧化硅，氧化钛，氧化钇，氧化镓，氧化锌，氧化铟，氮化铝，氮化钛，金属Pt等，以及上面的复合物。

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